Фізичні основи еліпсометрії : Навч. посібник /
|
22.379.24 Х-76 Хомяк, В.В. | |
|
Фізичні основи еліпсометрії : Навч. посібник /
В.В.Хомяк ; ЧНУ ім.Ю.Федьковича. — Чернівці : Рута, 2004. — 84 с. — У посібнику викладено основи методу еліпсометрії, проаналізовані методика, способи математичної обробки результатів і основні помилки еліпсометричних вимірювань, описані найбільш розповсюджені схеми еліпсометрів. Для студентів і аспірантів інженерно-технічних спеціальностей вузів, а також фахівців з фізики, технології та конструювання напівпровідникових приладів. 96656868011 |