Субмікронна технологія : Конспект лекцій /

      32.844.1
      С 89
      Субмікронна технологія : Конспект лекцій / М-во освіти і науки України, ЧНУ ім. Ю.Федьковича ; укл. В. М. Стребежев. — Чернівці : Рута, 2008. — 84 с. : рисунки, таблицы. — Розглянуто фізичні закономірності, напрямки розвитку, принципи й методи, процеси й операції сучасної субмікронної технології. Для студентів фізичних спеціальностей університетів.