Виготовлення та методи очистки напівпровідникових пластин і підкладок : навч. посіб. /

      31.233
      Х 76
      Хомяк, Володимир Васильович.
      Виготовлення та методи очистки напівпровідникових пластин і підкладок : навч. посіб. / В. В. Хомяк ; М-во освіти і науки, молоді та спорту України, Чернівецький нац. ун-т ім. Юрія Федьковича. — Чернівці : ЧНУ, 2012. — 96 с. : рисунки