Мікроелектроніка. Технологічні основи : Навчальний посібник /
|
32.852 К43 Кірш, М.Л. | |
| Мікроелектроніка. Технологічні основи : Навчальний посібник / М.Л.Кірш ; ЧНУ ім. Ю.Федьковича. — Чернівці : Рута, 2006. — 120 с. — У навчальному посібнику викладені методи, засоби, проблеми і перспективи розвитку сучасної технології виготовлення напівпровідникових, плівкових, гібридних та суміщених інтегральних мікросхем. Для студентів інженерно-технічних та природничих факультетів. |