Еліпсометрія як метод дослідження та контролю тонкоплівкових шарів : Навчальний посібник / В.В.Хомяк ; ЧНУ ім.Ю.Федьковича.
Вид матеріалу:
- 9665687565
- 22.379.24
- 22.379.24я73
- 32.86я73
Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Шифр зберігання | Стан | |
---|---|---|---|---|
Книга, брошура | Відділ зберігання та реставрації фондів (О.Кобилянської, 47) | 22.379.24 (Огляд полиці(Відкривається нижче)) | Доступно |
Огляд полиці бібліотеки/підрозділу: „Відділ зберігання та реставрації фондів (О.Кобилянської, 47)“ Зачинити оглядач полиці (Зачинити оглядач полиці)
У посібнику викладено використання методу еліпсометрії для дослідження та контролю технологічних процесів напівпровідникового виробництва різних структур. Наводяться результати еліпсометричних розрахунків для найбільш розповсюджених матеріалів і тонкоплівкових структур, які використовуються в електроніці. Для студентів, аспірантів інженерно-технічних спеціальностей вузів, фахівців з фізики, технології та конструювання напівпровідникових приладів.
Немає коментарів для цієї одиниці.
Увійти в обліковий запис для можливості публікувати коментарі.