6п2.15       А16       Аброян, И.А.
Физические основы электроной и ионной технологии : Учеб. пособие для спец. электрон. техники вузов / И. А. Аброян. — Москва : Высш. шк., 1984. — 320 с. : ил.
	УДК 6п2.15