TY  - BOOK
AU  - Сазонова,А.А.
TI  - Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов 
SN  - 50600073166
PY  - 1991///
CY  - Москва
PB  - Высш. шк.
KW  - Мікроелектронні схеми інтегральні
KW  - Виробництво
KW  - Автоматизація
KW  - Підручники і посібники
ER  -