32.844.1       О-75

Основи планарної технології : метод. рек. до лаб. робіт / ЧНУ ім.Ю.Федьковича ; укл.: В. В. Рюхтін, В. М. Годованюк. — Чернівці : Рута, 2004. — 30 с. — У виданні відображено основи фізики і технології виготовлення кремнієвих інтегральних схем, процеси, які відбуваються на контакті метал-напівпровідник і електронно-діркові переходи, а також властивості і математичні моделі основних елементів інтегральних схем. Для студентів хімічних факультетів університетів.