TY  - BOOK
AU  - Рюхтін,В.В.
AU  - Годованюк,В.М.
ED  - ЧНУ ім.Ю.Федьковича.
TI  - Основи планарної технології: метод. рек. до лаб. робіт 
PY  - 2004///
CY  - Чернівці
PB  - Рута
KW  - Технологія
KW  - Планарна
KW  - Інтегральні схеми
KW  - Напівпровідники
N2  - У виданні відображено основи фізики і технології виготовлення кремнієвих інтегральних схем, процеси, які відбуваються на контакті метал-напівпровідник і електронно-діркові переходи, а також властивості і математичні моделі основних елементів інтегральних схем. Для студентів хімічних факультетів університетів
ER  -