TY  - BOOK
AU  - Стребежев,В.М.
ED  - М-во освіти і науки України,
TI  - Субмікронна технологія: Конспект лекцій 
PY  - 2008///
CY  - Чернівці
PB  - Рута
KW  - Мікроелектроніка
N1  - Бібліогр.: с.82
N2  - Розглянуто фізичні закономірності, напрямки розвитку, принципи й методи, процеси й операції сучасної субмікронної технології. Для студентів фізичних спеціальностей університетів
ER  -