32.843.3       Т 38

Технологія напівпровідникових наноструктур : Методичні вказівки до лабораторних робіт / М-во освіти і науки України, ЧНУ ім. Ю.Федьковича ; укл. В. М. Стребежев. — Чернівці : Рута, 2008. — 60 с. : рисунки. — Розглянуто технологічні принципи та методики отримання наноструктур і наноструктурованих матеріалів, викладено методи контолю й дослідження основних об"єктів нанотехнології, ефекти, які в них виникають. Для студентів фізичних спеціальностей університетів.