TY  - BOOK
AU  - Грицюк,Б.М.
AU  - Мельничук,Т.А.
ED  - М-во освіти і науки, молоді та спорту України,
TI  - Технологія і фізика тонких плівок: лабор. практикум 
PY  - 2011///
CY  - Чернівці
PB  - ЧНУ
KW  - Фізика твердого тіла
KW  - Тонкі плівки
N1  - Бібліогр. в кінці розд
ER  -