TY  - BOOK
AU  - Хомяк,Володимир Васильович
ED  - М-во освіти і науки, молоді та спорту України,
TI  - Виготовлення та методи очистки напівпровідникових пластин і підкладок: навч. посіб. 
PY  - 2012///
CY  - Чернівці
PB  - ЧНУ
KW  - Електротехніка
KW  - Напівпровідникові матеріали
KW  - Навчальні посібники
N1  - Бібліогр.: с. 94 (10 назв)
ER  -