620.3       О-75
Основи субмікронної та нанотехнології : навч. посіб. Ч. 1 / М-во освіти і науки України, Чернів. нац. ун-т ім. Юрія Федьковича ; уклад.: В. М. Стребежев, І. М. Юрійчук. — Чернівці : Чернів. нац. ун-т ім. Юрія Федьковича, 2021. — 120 с. : рисунки, таблиці
	УДК 620.3:621.38](075.8)