TY  - BOOK
AU  - Стребежев,В.М.
AU  - Юрійчук,І.М.
ED  - М-во освіти і науки України
ED  - Чернів. нац. ун-т ім. Юрія Федьковича
TI  - Основи субмікронної та нанотехнології: навч. посіб
PY  - 2021///
CY  - Чернівці
PB  - Чернів. нац. ун-т ім. Юрія Федьковича
KW  - Техніка
KW  - Нанотехнології
KW  - Навчальні видання
KW  - Електроніка
KW  - Субмікронна технологія
KW  - Чернівецький автор
N1  - Бібліогр.: с. 116 (12 назв)
ER  -