TY  - BOOK
AU  - Хомяк,В.В.
ED  - ЧНУ ім.Ю.Федьковича.
TI  - Еліпсометрія як метод дослідження та контролю тонкоплівкових шарів: Навчальний посібник 
SN  - 9665687565
PY  - 2005///
CY  - Чернівці
PB  - Рута
KW  - Фізика
KW  - Напівпровідники
KW  - Оптичні властивості
KW  - Оптоелектроніка
N2  - У посібнику викладено використання методу еліпсометрії для дослідження та контролю технологічних процесів напівпровідникового виробництва різних структур. Наводяться результати еліпсометричних розрахунків для найбільш розповсюджених матеріалів і тонкоплівкових структур, які використовуються в електроніці. Для студентів, аспірантів інженерно-технічних спеціальностей вузів, фахівців з фізики, технології та конструювання напівпровідникових приладів
ER  -