TY  - BOOK
AU  - Кірш,М.Л.
ED  - ЧНУ ім. Ю.Федьковича.
TI  - Мікроелектроніка. Технологічні основи: Навчальний посібник 
PY  - 2006///
CY  - Чернівці
PB  - Рута
KW  - Напівпровідники
KW  - Мікроелектроніка
N2  - У навчальному посібнику викладені методи, засоби, проблеми і перспективи розвитку сучасної технології виготовлення напівпровідникових, плівкових, гібридних та суміщених інтегральних мікросхем. Для студентів інженерно-технічних та природничих факультетів
ER  -