| 000 | 01045nam a2200253 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5-06-000731-6 | ||
| 003 | UA-CvRSL | ||
| 005 | 20250503190851.0 | ||
| 020 | _a50600073166 | ||
| 040 |
_aUA-CvRSL _brus _cUA-CvRSL |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 090 |
_a32.844 _xА22 |
||
| 245 | 0 | 0 |
_aАвтоматизация технологического оборудования микроэлектроники : _bУчеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / _cпод ред. А. А. Сазонова. |
| 260 |
_aМосква : _bВысш. шк., _c1991. |
||
| 300 |
_a333 с. : _bил. |
||
| 650 | 0 | 4 |
_aМікроелектронні схеми інтегральні _xВиробництво _xАвтоматизація _xПідручники і посібники. |
| 084 |
_a32.844 _2rubbk |
||
| 084 |
_a32.844.1-05 _2rubbk |
||
| 084 |
_a32.965 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aСазонова, А.А. _eредактор |
|
| 920 | _a5-06-000731-6 | ||
| 942 |
_cBOOK _2rubbkn |
||
| 999 |
_c35732 _d35732 |
||