000 00640nas a2200193 i 4500
001 67.9(4УКР)304/Т58-000106
003 UA-CvRSL
005 20250503190917.0
040 _aUA-CvRSL
_bukr
_cUA-CvRSL
090 _a67.9(4УКР)304
_xТ58
245 0 0 _aТопографія інтегральної мікросхеми /
_cза ред. В. Л. Петрова.
260 _aКиїв :
_bІн Юре,
_c1999.
300 _a104 с
084 _a67.9(4УКР)304
_2rubbk
084 _a67.9(4УКР)304.41
_2rubbk
700 1 _aПетрова, В.Л.
_eредактор
942 _cBOOK
_2rubbkn
999 _c36745
_d36745