000			01629nam a2200265 i 4500
001			32.844.1 /О-75-734118
003			UA-CvRSL
005			20250503191437.0
040			_aUA-CvRSL _bukr _cUA-CvRSL
041	0		_aukr
090			_a32.844.1 _xО-75
245	0	0	_aОснови планарної технології : _bметод. рек. до лаб. робіт / _cЧНУ ім.Ю.Федьковича ; укл.: В. В. Рюхтін, В. М. Годованюк.
260			_aЧернівці : _bРута, _c2004.
300			_a30 с
520			_aУ виданні відображено основи фізики і технології виготовлення кремнієвих інтегральних схем, процеси, які відбуваються на контакті метал-напівпровідник і електронно-діркові переходи, а також властивості і математичні моделі основних елементів інтегральних схем. Для студентів хімічних факультетів університетів.
650	0	4	_aТехнологія _xПланарна _xІнтегральні схеми _xНапівпровідники.
084			_a32.844.1 _2rubbk
084			_a32.844.1я73 _2rubbk
084			_a22.379.2я73 _2rubbk
700	1		_aРюхтін, В.В. _eукладач
700	1		_aГодованюк, В.М. _eукладач
710			_aЧНУ ім.Ю.Федьковича.
942			_cBOOK _2rubbkn
999			_c46904 _d46904