000			01705nam a2200289 i 4500
001			966-568-680-1
003			UA-CvRSL
005			20250503191440.0
020			_a96656868011
040			_aUA-CvRSL _bukr _cUA-CvRSL
041	0		_aukr
090			_a22.379.24 _xХ-76
100	1		_aХомяк, В.В. _eавтор
245	0	0	_aФізичні основи еліпсометрії : _bНавч. посібник / _cВ.В.Хомяк ; ЧНУ ім.Ю.Федьковича.
260			_aЧернівці : _bРута, _c2004.
300			_a84 с
520			_aУ посібнику викладено основи методу еліпсометрії, проаналізовані методика, способи математичної обробки результатів і основні помилки еліпсометричних вимірювань, описані найбільш розповсюджені схеми еліпсометрів. Для студентів і аспірантів інженерно-технічних спеціальностей вузів, а також фахівців з фізики, технології та конструювання напівпровідникових приладів.
650	0	4	_aНапівпровідники _xОптика _xРадіоелектроніка.
084			_a22.379.24 _2rubbk
084			_a22.379.24я73 _2rubbk
084			_a32.844.1я73 _2rubbk
084			_a32.96-042я73 _2rubbk
710			_aЧНУ ім.Ю.Федьковича.
920			_a966-568-680-1
942			_cBOOK _2rubbkn
999			_c46966 _d46966