000 01339nam a2200253 i 4500
001 32.844.1 /С 89-876415
003 UA-CvRSL
005 20250503232952.0
040 _aUA-CvRSL
_brus
_cUA-CvRSL
041 0 _arus
090 _a32.844.1
_xС 89
245 0 0 _aСубмікронна технологія :
_bКонспект лекцій /
_cМ-во освіти і науки України, ЧНУ ім. Ю.Федьковича ; укл. В. М. Стребежев.
260 _aЧернівці :
_bРута,
_c2008.
300 _a84 с. :
_bрисунки, таблицы
504 _aБібліогр.: с.82
520 _aРозглянуто фізичні закономірності, напрямки розвитку, принципи й методи, процеси й операції сучасної субмікронної технології. Для студентів фізичних спеціальностей університетів.
650 0 4 _aМікроелектроніка.
084 _a32.844.1
_2rubbk
084 _a32.844.1я73
_2rubbk
700 1 _aСтребежев, В.М.
_eукладач
710 _aМ-во освіти і науки України,
_bЧНУ ім. Ю. Федьковича.
942 _cBOOK
_2rubbkn
999 _c53677
_d53677