| 000 | 01339nam a2200253 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 32.844.1 /С 89-876415 | ||
| 003 | UA-CvRSL | ||
| 005 | 20250503232952.0 | ||
| 040 |
_aUA-CvRSL _brus _cUA-CvRSL |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 090 |
_a32.844.1 _xС 89 |
||
| 245 | 0 | 0 |
_aСубмікронна технологія : _bКонспект лекцій / _cМ-во освіти і науки України, ЧНУ ім. Ю.Федьковича ; укл. В. М. Стребежев. |
| 260 |
_aЧернівці : _bРута, _c2008. |
||
| 300 |
_a84 с. : _bрисунки, таблицы |
||
| 504 | _aБібліогр.: с.82 | ||
| 520 | _aРозглянуто фізичні закономірності, напрямки розвитку, принципи й методи, процеси й операції сучасної субмікронної технології. Для студентів фізичних спеціальностей університетів. | ||
| 650 | 0 | 4 | _aМікроелектроніка. |
| 084 |
_a32.844.1 _2rubbk |
||
| 084 |
_a32.844.1я73 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aСтребежев, В.М. _eукладач |
|
| 710 |
_aМ-во освіти і науки України, _bЧНУ ім. Ю. Федьковича. |
||
| 942 |
_cBOOK _2rubbkn |
||
| 999 |
_c53677 _d53677 |
||