Субмікронна технологія : Конспект лекцій / М-во освіти і науки України, ЧНУ ім. Ю.Федьковича ; укл. В. М. Стребежев.
Вид матеріалу:
- 32.844.1
- 32.844.1я73
Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Стан | |
---|---|---|---|
Книга, брошура | Відділ документів із економічних, технічних та природничих наук (О.Кобилянської, 47) | Доступно | |
Книга, брошура | Відділ зберігання та реставрації фондів (О.Кобилянської, 47) | Доступно |
Бібліогр.: с.82
Розглянуто фізичні закономірності, напрямки розвитку, принципи й методи, процеси й операції сучасної субмікронної технології. Для студентів фізичних спеціальностей університетів.
Немає коментарів для цієї одиниці.
Увійти в обліковий запис для можливості публікувати коментарі.