У посібнику викладено основи методу еліпсометрії, проаналізовані методика, способи математичної обробки результатів і основні помилки еліпсометричних вимірювань, описані найбільш розповсюджені схеми еліпсометрів. Для студентів і аспірантів інженерно-технічних спеціальностей вузів, а також фахівців з фізики, технології та конструювання напівпровідникових приладів.