Фізичні основи еліпсометрії : Навч. посібник / В.В.Хомяк ; ЧНУ ім.Ю.Федьковича.
Вид матеріалу:
- 96656868011
- 22.379.24
- 22.379.24я73
- 32.844.1я73
- 32.96-042я73
Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Стан | |
---|---|---|---|
Книга, брошура | Відділ абонемента (О.Кобилянської, 47) | Доступно | |
Книга, брошура | Відділ зберігання та реставрації фондів (О.Кобилянської, 47) | Доступно |
У посібнику викладено основи методу еліпсометрії, проаналізовані методика, способи математичної обробки результатів і основні помилки еліпсометричних вимірювань, описані найбільш розповсюджені схеми еліпсометрів. Для студентів і аспірантів інженерно-технічних спеціальностей вузів, а також фахівців з фізики, технології та конструювання напівпровідникових приладів.
Немає коментарів для цієї одиниці.
Увійти в обліковий запис для можливості публікувати коментарі.